● 加熱系統：

增壓式強制循環熱風加熱系統，前后回風設計，有效防止溫區間氣流影響，保證優良的溫度均勻性和加熱效率；溫控精度±1℃，板面溫度橫向偏差±1.5℃，室溫到恒溫時間小于20分鐘。

● 冷卻系統：

全新專利結構設計，強制風冷及水冷結構可升級互換；維護保養方便快捷；冷卻區溫度顯示可調。

基本參數：

冷卻方式： 上2個冷卻區：風冷。

溫區配置： 8溫區，16加熱模塊。

溫度重復精度： 連續生產情況下，各基板間溫差±1℃。

設備重復精度： 同等工藝設置下，不同時期所測溫度曲線重復性能±1℃。

溫區風速調節： 上下溫區風速獨立調節。